濕度傳感器是能感受氣體中水蒸氣含量,并轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的傳感器。隨著現(xiàn)代化的實(shí)現(xiàn),很難找出一個(gè)與濕度無關(guān)的領(lǐng)域來,濕度傳感器主要用于測量或控制氣體的相對濕度或**濕度、露點(diǎn)等。也可以間接地控制溫度。下面對其典型應(yīng)用作一介紹。 (一)在濕度測量系統(tǒng)中的應(yīng)用
(1)在70℃以下(通常在-40℃以上)時(shí),若環(huán)境較干凈,則使用高分子傳感器,污染嚴(yán)重的使用陶瓷傳感器(加熱清洗再生型)。由于它存在加熱清洗過程,不能連續(xù)測量,且耗能較大(1~10W)。但壽命長,使用時(shí)可選加熱清周期較長的傳感器,如氯氧基磷灰石陶瓷傳感器,2~3個(gè)月洗一次,此外,內(nèi)熱式比外熱型耗能低。
(2)在70~100℃范圍內(nèi)測濕度,使用具有加熱清洗的陶瓷傳感器,為提高精度可進(jìn)行線性及溫度補(bǔ)償。為了實(shí)現(xiàn)更高精度則要配以微機(jī).在高溫高濕時(shí)需頻繁地加熱清洗,如80% RH以上時(shí),需30S清冼一次,建議裝有自動加熱清洗裝置。
(3)在100~150℃范圍內(nèi)測濕度,在國際上,大都采用陶瓷濕度傳感器制作高溫濕度儀。
(二)在工業(yè)過程自動控制中的應(yīng)用
為了改善產(chǎn)品的質(zhì)量和節(jié)能,通常在產(chǎn)品干燥系統(tǒng)、反應(yīng)堆的濕度控制、鍋爐水蒸氣的漏泄檢測、集成電路或磁頭加工廠的空調(diào)等大都使用陶瓷濕度傳感器進(jìn)行控制;各種空調(diào)系統(tǒng)、醫(yī)療系統(tǒng)的濕度控制可采用高分子或陶瓷濕度傳感器進(jìn)行。
(三)在蒸汽檢漏系統(tǒng)中的應(yīng)用
在火力發(fā)電站、原子能電站、蒸汽機(jī)車、鍋爐等高溫高壓設(shè)備中,為了預(yù)防漏氣,防止人身事故,可使用濕度傳感器進(jìn)行檢漏。
(四)在其他系統(tǒng)中的應(yīng)用
在家電中結(jié)露傳感器可用作磁帶錄像機(jī)結(jié)露檢測,汽車車窗結(jié)露、結(jié)霜檢測等。
濕度傳感器的應(yīng)用推動了對微電子電路封裝故障機(jī)制的分析,因集成電路失效與濕度有很大關(guān)系。美國麻省理工學(xué)院把微濕傳感器裝在芯片上,對其失效進(jìn)行早期報(bào)警實(shí)驗(yàn)成功。
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